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一文看懂芯片的封装工艺(先进封装篇1:倒装封装)

先介绍一下倒装封装 。懂芯

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倒装封装(Flip Chip)

业界普遍认为,片的篇倒倒装封装是封装封装传统封装和先进封装的分界点  。

上期我们提到,工艺芯片封装发展的先进第三阶段(1990年代) ,代表类型是装封装BGA(球形阵列)封装 。早期的懂芯BGA封装,是片的篇倒WB(Wire Bonding,引线) BGA  ,服务器租用封装封装属于传统封装。工艺

后来,先进芯片的装封装体积越来越小  ,而单颗芯片内的懂芯焊盘数量越来越多(接近或超过1000个) 。传统的片的篇倒引线封装 ,已经无法满足要求。封装封装

于是 ,采用倒装技术替换焊线的FC BGA封装 ,就出现了 。

所谓“倒装”,高防服务器就是在晶粒上创造一些由焊料制成的“凸点”或“球”。然后 ,把晶粒反转过来,让凸点对准基板上的焊盘 ,直接扣在基板上。

通过加热 ,让熔融的凸点与基板焊盘相结合 ,实现晶粒与基板的结合 。

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WB BGA与FC BGA

我们来看看具体的工艺流程 。

以FC BGA为例。香港云服务器前面减薄 、切割、清洗 、光检,和WB BGA(传统封装)差不多。

要把晶粒与基板连在一起(后面会说 ,这叫“键合”),开始不一样了 。

第一步,是凸点制作(Bumping)。

倒装封装包括热超声、回流焊和热压三种工艺,其凸点分别使用金球 、锡球和铜柱。

热超声,源码库是在超声和温度的共同作用下, 将金凸点“粘”在基板的焊盘上 。这种方式 ,适用于I/O密度较小的芯片。

回流焊,是在锡凸点表面涂覆助焊剂,再通过热回流加热,进行焊接。这种方式也适合I/O密度较小(凸点间距40-50μm)的芯片。

热压(Thermal Compression Bonding ,TCB) ,云计算采用高深宽比、小尺寸的铜柱凸点 ,直接加热粘结 。这种方式能够实现高密度互联 ,适用于I/O密度较大(凸点间距40-10μm)的芯片。

金凸点的成本高 。相比之下 ,铜柱凸点的电性能 、散热性能比较好,制备难度均衡 ,成本也比较低 ,所以用得比较多。免费模板

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电子显微镜下的凸点

制作凸点的流程比较复杂。其实说白了 ,就是前面晶圆制造时的那套工艺,例如沉积 、光刻 、刻蚀等 。

沉积包括UBM(Under Bump Metallization,凸点下金属化层)的沉积和凸点本身的沉积 。UBM位于凸点与芯片焊盘(金属垫 ,Al pad铝垫层)之间 ,起到增强凸点附着力、提高电导率和热导率的作用。

UBM的沉积 ,通常采用溅射(Sputtering)、化学镀(Electroless) 、电镀(Electroplating)的方式实现。

凸点本身的沉积 ,通常采用电镀 、印刷 、蒸镀、植球的方式实现(前两者比较常见) 。

大致的流程,看下面的示例图应该能懂(不懂的话,可以回顾晶圆制造那一期的内容) :

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比较特别的是 ,最后多了一个步骤——“回流” ,把锡帽变成了子弹头形状 。

第二步 ,是对准和贴装 。

简单来说,就是使用精密的贴装设备 ,将晶粒上的凸点与基板上的焊盘进行精确对准 ,然后通过回流焊等工艺 ,实现凸点与焊盘的连接。

回流焊的大致过程:

回流焊流程

先将晶粒(芯片)的凸点沾上助焊剂,或者在基板上加定量的助焊剂。助焊剂的作用,是去除金属表面氧化物并促进焊料流动。

然后  ,用贴片设备将晶粒精准地放到基板上 。

接下来,将晶粒和基板整体加热(回流焊),实现凸点和焊盘之间的良好浸润结合(温度和时长需要严格控制)。

最后,清洗去除助焊剂 ,就OK了 。

凸点数量较多、间距较小时,回流焊容易导致出现翘曲和精度问题。于是,这个时候就可以用热压(TCB)工艺 。

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热压流程

前文提到,热压(TCB)工艺非常适合更多凸点  、更小凸点间距的芯片 。它利用高精度相机完成芯片间的对准,并通过控制热压头的压力与位移接触基座,施加压力并加热,实现连接 。(后续我们讲混合键合 ,会再提到热压 。)

第三步,底部填充。

连接之后,大家会注意到,晶粒和基板之间的区域是空心结构 。(芯片底部的焊球分布区 ,也叫C4区域,Controlled Collapse Chip Connection,“可控塌陷芯片连接”。)

为了避免后续出现偏移 、冷焊、桥接短路等质量问题 ,需要对空心部分进行填充 。

填充和传统封装的塑封有点像 ,使用的是填充胶(Underfill)。不仅能够固定晶粒,防止移动或脱落,还能够吸收热应力和机械应力,提高封装的可靠性 。

底部填充工艺一般分为三种:毛细填充(流动型) 、无流动填充和模压填充。

一般来说 ,倒装封装都是以毛细填充为主。方法比较简单:清洗助焊剂之后 ,沿着芯片边缘,注入底部填充胶。底部填充胶借助毛细作用 ,会被吸入芯片和基板的空隙内 ,完成填充。

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填充之后 ,还要进行固化   。固化的温度和时间  ,取决于填充胶的种类和封装要求。

以上,就是倒装封装(凸点工艺)的大致流程 。

相比传统封装,倒装封装的优势非常明显 :

1 、能够实现高密度的I/O电气连接,有利于减小芯片的体积 。

2 、凸点连接 ,相比引线,可靠性也更强 。

3 、信号传输路径大大缩短 ,减少寄生电容和电感 ,提高信号的完整性。

4 、晶粒和基板直接接触 ,热量能够快速传导并散发出去 。

凸点(bump)的制造过程与晶圆制造(前道)过程非常相似 ,本身又介于晶圆制造(前道)和封装测试(后道)之间。所以,也被称作“中道”工序。

后面会提到的TSV和RDL,也是中道工序。

最近这十几年 ,先进封装高速发展 ,凸点工艺也一直在演进  。

从球栅阵列焊球(BGA Ball)到倒装凸点(FC Bump),再到微凸点(μBump),凸点的尺寸在不断缩小,技术难度也在不断升级。

后续小枣君要提到的芯片堆叠 、还有立体封装(2.5D/3D),很多都是以凸点工艺为基础。它的重要性不言而喻 ,请大家一定要注意 。

3D封装中的微凸点(μBump)

键合

插播一个概念——键合(Bonding)。

上期小枣君介绍了传统封装里的引线封装。刚才 ,又介绍了倒装封装 。

这种将晶圆和晶圆、晶圆和基板“粘贴”在一起的做法,有一个专门的名字 ,就是键合 。

引线封装,叫引线键合 。倒装封装  ,叫倒装键合 。

除了这两种键合之外 ,还有:载带自动键合、混合键合、临时键合等。

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载带自动键合

载带自动键合(Tape Automated Bonding ,TAB),是一种将芯片组装到柔性载带上的芯片封装键合技术 。

载带自动键合与引线键合非常类似,主要区别在于引线键合中 ,芯片的载体是引线框架或者PCB基板。而载带自动键合,用的是柔性载带 。

载带自动键合

载带既作为芯片的支撑体 ,又作为芯片与外围电路连接的引线。

载带自动键合包括以下5个步骤 :

1、制作载带:载带其实就是铜箔材料。将铜箔贴合在聚酰亚胺胶带上,经过光刻和蚀刻,形成固定的 、精细的导电图形 ,并制作定位孔和引线窗口,就变成了载带。

2、内引线键合(ILB ,Inner Lead Bonding):将预先形成焊点的芯片精确定位后 ,采用热压或热超声方式同时将所有内引线与芯片焊盘连接。

3 、对准和贴装  :将芯片贴装在基板上 。

4 、外引线键合(OLB,Outer Lead Bonding) :将载带与基板或PCB对准 ,通常采用热压方式实现批量键合。

5 、注塑保护:这个和引线键合流程差不多 ,就是形成保护层 。

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相比于引线键合,载带自动键合适合高密度 、细间距的封装要求 ,具有不错的电气性能和散热性能,适合LCD驱动器等高密度引线连接场合 。

在传统、低成本应用中 ,载带自动键合凭借工艺简单 、技术成熟的特点 ,仍有一定优势 。但现在都是更高性能、更高密度封装时代,载带自动键合在应用和普及上,肯定还是不如倒装键合。

混合键合  、临时键合 ,这两个概念非常重要。后续讲到立体封装时 ,小枣君会详细介绍。

CSP(芯片级封装)

再插播一个概念——CSP(Chip Scale Package,芯片级封装)  。

前面几期里,提到过CSP ,说CSP是芯片小型化封装的一种方式。

CSP是BGA之后开始崛起的。主要原因 ,就是因为数码产品小型化、便携化,对芯片体积提出了要求。

CSP封装 ,锡球间隔及直径更小 ,芯片面积与封装面积之比超过 1:1.14 ,已经相当接近 1:1 的理想情况,约为普通BGA封装的1/3。

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和BGA一样 ,CSP也分为WB CSP和FC CSP。

通常来说 ,FC CSP较多应用于移动设备(例如手机)的AP  、基带芯片。而FC BGA,较多应用于PC 、服务器的CPU、GPU等高性能芯片 。

这个知识点大家知道一下就好 ,不算重点 。

好了  ,今天先讲到这里 。

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